1、前言

        在半導體資料芯片技巧和通過集成運放工序中，涂料、晶圓、存儲芯片的檢查是必難以少的關鍵環節。不斷地半導體資料芯片技巧檢查技巧的開發，數值源表SMU通過探頭臺的控制系統組合式都被多用途于涂料/肺部結節影元元器件的電學特征校驗中。數值源表SMU遵循源測功效，能能呈現功率-電流(I-V)特征等值線，是半導體資料芯片技巧涂料、元元器件電穩定性研究方法估測的主要；探頭臺有帶有大量手動、半自行和全自行兩類，隨著檢查可以的選擇配套工程的產品的可以了。在備選時可以注重探頭的不銹鋼板材并且針尖的直徑約與樣式形態，探頭不銹鋼板材有差異，其特性阻抗就要同樣；還有，探頭尖磨損情況和水污染也會對檢查沒想到引致應響。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT連結表示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺與源表的聯接方式常考有倆種，另外一種用同水平線聯接方式，另另外一種用三同水平線聯接方式。當檢測小工作電流大小(nA、pA)時，應用三同軸轉移接口和三同水平線纜。在應用源表保養性高端的測量電路系統中，在三同軸的保養性層與內芯之間是等電勢差，不會產生漏工作電流大小產生，并能延長小工作電流大小測量準確度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣電阻；3內屏避層；4期間層；5外屏避層；6外保護套）

圖：三同水平線纜等效電路原理圖

  上圖下圖為三同水平數據線等效用電線路圖，效果精致HI和Guard中間的電勢差差基本上為0，才能減少數據線自己的的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系列作品直流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸接連器與傳統兩芯接連器無所多種，可同一時間接駁數據、保護接地和攔截層，攔截特效好。和多芯電線電纜比起，三同軸電線電纜形式簡單，安全高朝；和兩芯同軸電線電纜比起，體現了比較高的攔截性能指標和小數據的視頻傳輸業務能力。三同軸電線電纜的接連方法的使用了GUARD數據，具備了攔截功能，更優勢于小數據的測定。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

實用杜邦線轉BNC母頭做出接連；

- 三同軸連接 -

用三同軸接轉組件參與拼接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

之間應用三同水平線通過拼接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將各種類型的三同軸更改為高壓低壓轉用三同水平線；低壓變壓器三同軸連接管的擊穿電壓技能較少，普賽斯應用的低壓變壓器三同軸連接管就能夠擊穿電壓3500V。

圖：左-油田三同軸、右-各種類型三同軸

HCPL 100大電流源表

大電壓測量方法時，單根檢測器準許的電壓有限制的，電壓過大會會進而引發燒針想象，干擾測式導致，為此都要利用多檢測器并接。

圖：多探頭并接示意圖

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電極材料拼接圖示

圖：異面電極片相連提示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。